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中国电科45所两项产品获中国电子学会科学技术奖

放大字体  缩小字体 发布日期:2018-11-08  浏览次数:159
核心提示:几分耕耘,几分收获。由我所第二设备事业部研制生产的JBQ-3100型自动金属膜剥离机和SFQZ-809型抛光片全自动最终湿法腐蚀清洗机
 
几分耕耘,几分收获。由我所第二设备事业部研制生产的“JBQ-3100型自动金属膜剥离机”和“SFQZ-809型抛光片全自动最终湿法腐蚀清洗机” 两项产品分获中国电子学会科学技术奖二等奖和三等奖。
 
“JBQ-3100型自动金属膜剥离机”针对金属膜剥离工艺需求,突破了多腔体圆片自动传输、浸泡槽结构设计与制造、多功能腔体结构设计与制造、化学液增压/加热/循环/过滤和再利用等关键技术,取得发明专利6项,主要性能指标达到国际同类产品先进水平,填补了国内空白,具备产业化生产能力和良好的市场推广应用价值。
 
“SFQZ-809型抛光片全自动最终湿法腐蚀清洗机”针对硅抛光片最终清洗工艺需求,突破了高洁净整机系统结构设计、干进干出自动传输系统结构设计、高效洁净离心甩干干燥、双斜面兆声循环清洗单元结构设计等关键技术,主要技术指标达到国内领先国际先进水平,实现了替代进口,填补了国内空白。
 
此次获奖是对我所产和研发实力的极大肯定,45所将一如既往地致力于技术创新、新产品研发和推广,不断提升产品性能和质量水平,打造行业精品,为提升国产半导体装备制造水平贡献力量!
 
 
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