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SES630A 硅APCVD设备

单价: 200000.00
品牌: 北方微电子
销量: 累计出售 0
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人气: 已有 1613 人关注
更新: 2014-03-15
数量: 减少 增加 库存100件
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SES630A 硅APCVD设备
  • 晶圆尺寸: 6"8"
  • 适用材料: 硅外延
  • 适用工艺: 本征硅外延、N型硅外延、P型硅外延
适用于不同规格衬底上N型、P型硅材料的外延生长,可应用于集成电路、功率半导体、MEMS等领域。设备采用全自动装卸载技术及先进的硬件设计,同时兼容6英寸和8英寸硅衬底,具有良好的稳定性和可靠性。

性能特点

● 先进的加热系统实现工艺温度稳定控制,精密的气体输运系统设计实现稳定可控的沉积速率。
● 兼容6和8英寸衬底,兼顾薄膜和厚膜的外延生长。
● 自主开发的软件系统可根据客户需求进行定制,优秀的“人机交互”能力。
 

生产能力

● 低CoO、CoC,高设备产能。


  • 保障说明
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