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GDE200S 等离子刻蚀机

单价: 200000.00
品牌: 北方微电子
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更新: 2014-03-15
数量: 减少 增加 库存100件
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GDE200S 等离子刻蚀机
  • 晶圆尺寸: 4" 5" 6" 8"
  • 适用材料: 氧化硅、氮化硅、碳化硅
  • 适用工艺: 硬掩模刻蚀
面向4-8英寸衬底0.5um以上技术代的通用高密度等离子体刻蚀设备,集成高密度等离子体源、高寿命静电卡盘、精密的腔室温度控制系统,快速匹配的射频系统等多项先进技术,能实现优秀的侧壁陡直度和无残留的光滑刻蚀相貌,可为光波导器件制造过程中的多种刻蚀工艺提供全面的解决方案。

性能特点

● 广泛的工艺兼容性;
● 快速等离子体清洗功能,有效保证工艺重复性,大幅度延长设备清洗周期;
● 采用独特的温控设计,减少刻蚀副产物在腔室内沉积,有效延长了关键部件的使用寿命和工艺腔室的维护周期;

生产能力

● 单腔室,手动装卸载,自动传输,适用于研发及小规模生产;
● 更小占地面积和操作灵活性,有效降低采购和使用成本;


  • 保障说明
  • 买家保障: 卖家缴纳保证金为买家提供交易保障,若卖家发生违约或不诚信行为,保证金先行赔付。

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